Al 2 O 3 /AlGaN/GaN MOSHEMTの IV 出力特性に対する三元混晶と層厚の影響

周 XJ、星 Y、顧 Z、孟 GQQG

抽象的な

Al 2 O 3 /AlGaN/GaN MOSHEMT? IV ??????????????????

周 XJ、星 Y、顧 Z、孟 GQQG*

_{Al 2} O ₃ /AlGaN/GaN MOSHEMT?????????????? Al ₂ O ₃ /AlGaN ????????????????????????????????????????????????AlGaN ? Al ???????????????????????????????????????????Al ??? Al ₂ O ₃?????????????????????????AlGaN ????????????????????????????????????????????????????? MOSHEMT ????????????????????????

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